氣體質(zhì)量流量計(jì)具有精度高、壽命長(zhǎng)、重復(fù)性好、流量量程寬、穩(wěn)定可靠等特點(diǎn)。用測(cè)試氣體質(zhì)量的方法對(duì)氣體進(jìn)行流量測(cè)量，目前在國(guó)內(nèi)處于   地位。

氣體質(zhì)量流量計(jì)由氣流質(zhì)量傳感器和數(shù)字顯示積算儀構(gòu)成。

氣體質(zhì)量流量計(jì)采用   微橋氣流質(zhì)量傳感器和壓力傳感器。氣流質(zhì)量傳感器是基于流過(guò)傳感器氣流質(zhì)量帶走的熱量正比于其輸出電壓的熱傳輸原理，壓力傳感器是氣體的壓力正比于輸出電壓，即將氣體質(zhì)量流量和氣體壓力同時(shí)轉(zhuǎn)換成模擬信號(hào)輸出。

數(shù)字顯示積算儀的作用是將氣流質(zhì)量傳感器輸出的氣流質(zhì)量模擬電信號(hào)經(jīng)由單片機(jī)內(nèi)部的A∕D轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)。再經(jīng)過(guò)運(yùn)算處理，把氣體的質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換成相對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量或標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的質(zhì)量流量。又經(jīng)數(shù)據(jù)處理運(yùn)算，分別計(jì)算出即時(shí)流量和累計(jì)流量，送至四位和八位數(shù)碼管顯示。

數(shù)字顯示積算儀還可以將壓力傳感器輸出的氣體壓力模擬電信號(hào)經(jīng)單片機(jī)進(jìn)行A∕D轉(zhuǎn)化、運(yùn)算處理氣體壓力值送至三位數(shù)碼管顯示出來(lái)。

另外，單片機(jī)可將相關(guān)運(yùn)算處理的各種常數(shù)、系數(shù)及人工設(shè)置的即時(shí)流量的上、下限和壓力上、下限等數(shù)據(jù)信息存入單片機(jī)內(nèi)的EEPROM中保存。單片機(jī)還可把累計(jì)流量值存入EEPROM存儲(chǔ)器中。以上這些數(shù)據(jù)信息，在停電后可自動(dòng)保存，重新供電后，這些數(shù)據(jù)信息可自動(dòng)恢復(fù)。